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DIN EN ISO 14644-9:2012 Edition

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Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit

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DIN 2012-12 32
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Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüf und Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngrößen sind in den informativen Anhängen enthalten. Dieser Teil der ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte. Die Klassifizierung der Partikelreinheit der Oberfläche (en: surface particle cleanliness, SPC) ist auf Partikel mit einer Größe zwischen 0,05 µm und 500 µm begrenzt. Folgende Aspekte werden in der vorliegenden Norm nicht betrachtet: – Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberflächen für bestimmte Prozesse; – Verfahrensweisen für die Reinigung von Oberflächen; – Materialkenngrößen; – weitere Kenngrößen von Partikeln, wie z. B. elektrostatische Ladung, Ionenladungen, biologischer Zustand und weitere. Der vorliegende Teil der ISO 14644 deckt das Klassifizierungssystem der partikulären Kontamination von Oberflächen ab, nimmt jedoch keinen Bezug auf die wechselseitigen Bindungskräfte oder Entstehungsprozesse, die üblicherweise zeitabhängig (wie z. B. Ablagerung, Sedimentation, Alterung) und prozessabhängig (wie z. B. Transport oder Handhabung) sind. Messverfahren für die Klassifizierung sollten hinsichtlich der Oberflächenkenngrößen (z. B. Porosität, Rauheit, elektrostatische Ladung, Oberflächenenergie) angepasst werden. Die Oberflächenreinheit ist neben weiteren Faktoren von den Material und Gestaltungskenngrößen, Beanspruchungslasten (Komplexität der auf eine Oberfläche wirkenden Lasten) und vorherrschenden Umgebungsbedingungen abhängig. Aufgrund der Komplexität der statistischen Bewertungen und der verfügbaren Literatur sind die Auswahl und Anwendung statistischer Klassifizierungs und Prüfverfahren nicht in diesem Teil der ISO 14644 beschrieben.*Inhaltsverzeichnis

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